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      產品展示

      長沙埃福思科技有限公司

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      離子束拋光機IFS600B
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      離子束拋光機IFS1000-600B

       

      1000-600照片(1).jpg


       

      離子束拋光離子束拋光機IFS1000-600B技術參數離子束拋光

      名稱

      參數

      加工能力
      (最大工件尺寸)

      大腔1000mm×600mm

      小腔300mm×300mm

      可加工面形

      平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等;

      可加工材料

      石英、微晶、ULE、藍寶石、單晶硅、碳化硅等;

      加工光學元件精度

      亞納米加工精度、可實現面形RMS<1nm超高精度加工;

      X軸行程

      ≥1000mm

      Y軸行程

      ≥600mm

      Z1軸行程

      ≥300mm

      Z2軸行程

      ≥300mm

      離子源

      美國Veeco HC 5cm / 德國射頻源

      工作真空建立時間

      1  hours

      副室真空建立時間

      ≤15 min

      X軸最大運動速度

      5m/min

      Y軸最大運動速度

      5m/min

      Z軸最大運動速度

      3m/min

      運動軸重復定位精度

      ≤±0.01mm

      保護功能

      具備意外斷電、斷水、斷氣故障報警保護、運動系統故障保護、離子源故障保護等

      智能功能

      具備智能一鍵開機、一鍵停機、定時預約加工、遠程控制、日志等功能。

      外形尺寸

      長寬高:3.8×3.2×2.6m

      整機重量

      9噸

      能耗功率

      Max:18KW  Avg:7KW


       

      Ion Beam FiguringIon Beam FiguringIon Beam FiguringIon Beam FiguringIon Beam Figuring    
      離子束拋光離子束拋光離子束拋光離子束拋光


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