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      長沙埃福思科技有限公司

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      離子束拋光機IFS300A
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      離子束拋光機IFS300A

       

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      離子束拋離子束拋光機IFS300A技術參數離子束拋光

      名稱

      參數

      加工能力
      (最大工件尺寸)

      300mm×300mm
      厚度100mm

      可加工面形

      平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等

      可加工材料

      石英、微晶、ULE、藍寶石、單晶硅、碳化硅等

      可加工精度

      亞納米加工精度、可實現面形RMS<1nm超高精度加工

      X軸行程

      300mm

      Y軸行程

      300mm

      Z軸行程

      300mm

      離子源

      美國Veeco HC 5cm / 德國射頻離子源

      中和器

      美國 Veeco HCN / 德國

      工作真空建立時間

      1 hours

      副室真空建立時間

      ≤15 min

      X軸最大運動速度

      5m/min

      Y軸最大運動速度

      5m/min

      Z軸最大運動速度

      3m/min

      運動軸重復定位精度

      ≤±0.01mm

      保護功能

      具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護、運動系統故障保護、離子源故障保護等

      智能功能

      具備智能一鍵開機、一鍵停機、定時預約加工、遠程控制、日志等功能。

      外形尺寸

      長寬高:2.5x2.5x2.1m

      整機重量

      4噸

      能耗功率

      Max:12KW  Avg:5KW

       

       


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